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气相沉积炉的优势有哪些
发布时间:2022-09-29   浏览:1706次

  气相沉积炉的优势有哪些

  气相沉积炉为沉积炉主体内有加热室,水冷电极,测温热电偶,是处利记sbobet件的核心部分。下面是关于炉子优势介绍。

  电阻炉可采用多温区独立控温,温度均匀性好;

气相沉积炉(CVI-CVD沉积炉)

  气相沉积炉采用智能压力调控,压力波动小;

  全封闭沉积室,密封效果好,抗污染能利记sbobet;

  多通道工艺气路,流程均匀,无沉积死角,沉积效果好;

  多级尾气处理系统,环境友好,能很快收集焦油及副产物,易清理;

  气相沉积炉可选配外循环快冷系统,降温时间短,生产效率高。

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23 April 2019
真空甩带炉热处理炉特性

真空甩带炉热处理炉特性

  真空甩带炉热处理炉特性   真空甩带炉热处理炉特性有哪些呢?今天利记sbobet小编就和大家说说,我们做个详细的了解。   (1) 严格的真空密封:   众所周知,金属零件进行真空热处理均在密闭的真空炉内进行,因此,获得和维持炉子原定的漏气率,保证真空炉的工作真空度,对确保零件真空热处理的质量有着非常重要的意义。所以真空甩带炉的一个关键问题,就是要有可靠的真空密封结构。为了保证真空炉的真空性能,在真空热处理炉结构设计中必须遵循一个基本原则,就是炉体要采用气密焊接,同时在炉体上尽量少开或者不开孔,少采用或者避免采用动密封结构,以尽量减少真空泄漏的机会。安装在真空炉体上的部件、附件等如水冷电极、热电偶导出装置也都必须设计密封结构。   (2)大部分加热与隔热材料只能在真空状态下使用:   真空甩带炉的加热与隔热衬料是在真空与高温下工作的,因而对这些材料提出了耐高温,蒸汽压低,辐射效果好,导热系数小等要求。对抗氧化性能要求不高。所以,真空热处理炉广泛地采用了钽、钨、钼和石墨等作加热与隔热构料。这些材料在大气状态下极易氧化,因此,常规热处理炉是不能采用这些加热与隔热材料。   (3)水冷装置:   真空甩带炉的炉壳、炉盖、电热元件,分别处置(水冷电极)、中间真空隔热门等部件,均在真空、受热状态下工作。在这种极为不利的条件下工作,必须保证各部件的结构不变形、不损坏,真空密封圈不过热、不烧毁。因此,各部件应该根据不同的情况设置水冷装置,以保证真空热处理炉能够正常运行并有足够的使用寿命。   (4)采用低电压大电流:   在真空容器内,当真空空度为几托一lxlo-1托的范围内时,真空容器内的通电导体在较高的电压下,会产生辉光放电现象。在真空热处理炉内,严重的会产生弧光放电,烧毁电热元件、隔热层等,造成重大事故和损失。因此,真空热处理炉的电热元件的工作电压,一般都不超过80-100伏。同时在电热元件结构设计时要采取有效措施,如尽量避免有***的部件,电极间的间距不能太小窄,以防止辉光放电或者弧光放电的发生。   (5)自动化程度高:   真空熔炼炉的自动化程度之所以较高,是因为金属工件的加热、冷却等操作,需要十几个甚至几十个动作来完成。这些动作内在真空热处理炉内进行,操作人员无法接近。同时,有些动作如加热保温结束后,金属工件进行淬火工序须六个动作并且要在15秒钟以内完成。在这样利记sbobet的条件来完成许多动作,是很容易造成操作人员的紧张而构成误操作。因此,只有较高的自动化才能准确、及时按程序协调动。